常見的真空腔體加工的檢漏方法
2019/07/05
真空腔體加工檢漏的方法主要有三種，其中氦質譜檢漏是真空檢漏領域里不可少的一種，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在檢漏中有較多應用。真空腔體加...
+ More真空腔體的概述
2019/06/17
這種真空腔體是為減少了半導體應用中真空腔的個數而準備的，而晶圓容量不變。這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點是機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應，抽氣時間、穩(wěn)...
+ More真空腔體烘烤
2019/06/04
觀察真空腔體烘烤時的真空度變化結果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3Pa時，開始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵，同時...
+ More真空腔體的制作
2019/06/04
焊接是真空腔體制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學反應從而影響焊接質量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣，以防止熔...
+ More真空腔體的制作材料
2019/06/04
真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結構材料。其中300系列不銹鋼是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐...
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