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真空腔體的概述

       這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個數(shù)而準(zhǔn)備的,而晶圓容量不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點(diǎn)是機(jī)臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應(yīng),抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。
2019/06/17 11:14:46 2988 次

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